네덜란드 경제부 장관 평택 공장 방문, 삼성-ASML 협력 가속

피터 베닝크 ASML 전 CEO. 연합뉴스

반도체 장비 회사 ASML과 삼성전자의 협력이 더욱 공고해질 전망이다. 

20일 업계에 따르면 지난 19일 디르크 벨야르츠 네덜란드 경제부 장관을 포함한 정부 관계자들과 피터 베닝크 ASML 전 CEO는 경기 평택에 있는 삼성전자 반도체 공장을 방문해 디바이스솔루션(DS)부문 경영진들과 회동한 것으로 알려졌다. 삼성전자가 반입을 앞둔 ASML의 첨단 장비인 '하이 뉴메리컬어퍼처(High-NA) EUV 노광장비'와 연구개발(R&D) 협력, 투자계획 등에 대한 이야기를 나눴을 것이라는 관측이 나온다.

ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV 노광장비를 생산하는 기업으로 반도체 업계에서는 '슈퍼을'로도 불린다. 최첨단 제품인 하이 NA EUV는 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 미만의 미세 공정을 구현할 수 있는 장비다. 한대당 가격은 약 4000억~5000억원 수준인 것으로 전해졌다.

업계에서는 삼성전자가 이르면 올해부터 해당 장비를 반입할 것으로 보고 있다.

무엇보다 이번 네덜란드 정부의 삼성 평택공장 방문에는 베닝크 전 CEO가 가교 역할을 한 것으로 전해졌다. 베닝크 전 CEO는 지난해 일선에서 물러났지만 2013년부터 ASML을 이끌어 오며 삼성과 굵직한 협업을 해 온 데다 각별한 관계를 유지하고 있다.

베닝크 CEO 재임 시절인 2023년 말 ASML은 삼성전자와 경기 화성에 1조원을 들여 첨단 반도체 미세 공정 기술을 개발하는 대규모 연구 시설을 짓기로 하고 현재 추진 중이다.

삼성전자와 ASML은 30년간 돈독한 관계를 이어오고 있다. 특히 이재용 삼성전자 회장은 유럽 출장 때마다 ASML 본사를 찾을 정도로 양사의 협력 관계에 공을 들이는 모습이다.

삼성전자 평택사업장 전경. 삼성전자 제공

이 회장은 베닝크 전 CEO와도 인연이 깊다. 그는 이 회장이 ASML 본사 방문 때마다 동행했고, 작년 8월 파리 올림픽에서는 함께 수영 경기를 관람하기도 했다.

베닝크 전 CEO는 전날 강남구 그랜드 인터컨티넨탈 파르나스호텔에서 열린 '세미콘코리아 2025 리더십 디너' 행사에서 취재진과 만나 이 회장과의 인연에 대해 "오랫동안 일하면서 친분을 쌓은 좋은 친구"라고 말했다.

한편 베닝크 전 CEO는 벨야르츠 장관과 평택 공장 방문 후 크리스토퍼 푸케 ASML CEO와 이번 리더십 디너 행사에 참석해 500여명의 글로벌 반도체 리더 및 임원들과 반도체 산업 인사이트를 공유하기도 했다.